半導體材料真空探針臺電學性能測試系統

半導體材料真空探針臺電學性能測試系統產品參數：

腔體

樣品臺尺寸：2英寸

樣品固定：樣品固定

觀察窗口：2英寸

真空度：10-6 torr

探針臂接口：最多6個探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮 / 液氦

控制方式：開循環手動

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

探針座

X-Y-Z 移動行程：X-Y-Z 移動行程

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

探針夾具

線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口

探針

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢鋼 / 鈹銅

真空組件：分子泵組 / 機械泵

冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機

外形重量：730mm×750mm×1265mm（長寬高）      約100kg

防震桌參數：

氣浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材質:不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸（長寬):可定制

平臺厚度：50 / 100 / 200mm

固有頻率:.5Hz - 2Hz

支撐腿:氣浮支撐腿

支撐腿數量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制